产品名称：杭州众硅电子请求联动式单动力源操控间停组织晶圆修整组织专利完结修整单元在方针高度逗留检测
来源：欧宝体育 发布时间：2025-03-11 04:08:55
产品介绍：
金融界2024年12月20日音讯，国家知识产权局信息数据显现，杭州众硅电子科技有限公司请求一项名为“联动式单动力源操控间停组织、晶圆修整组织及作业方法”的专利，公开号CN 119141436 A，请求日期为2024年11月。
专利摘要显现，本发明公开了一种联动式单动力源操控间停组织、晶圆修整组织及作业方法，包含：升降单元，具有榜首、第二作业位，在单个动力源的驱动下可自榜首作业位活动至第二作业位；阻挠件，部分可伸入或退出升降单元的活动途径；驱动件，可沿着升降单元的活动方向移动，并可与阻挠件相抵；滚动限位件，至少具有榜首状况和第二状况；在升降单元自第二作业位切换至榜首作业位过程中，升降单元逗留在第三作业位。本发明还公开了一种晶圆修整组织，联动式单动力源操控间停组织的作业方法，晶圆修整作业方法。本发明完结修整单元在方针高度逗留对抛光垫外表沟槽进行细心的检测的意图，在完结检测后能够主动免除上述间停动作。